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| Kurzspezifikation: BA-1401 |
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EB-Anlage |
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| Hardware: |
1x |
Vakuumkammer (zylindrisch, vertikal) |
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2x |
Elektronenstrahlkanone |
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ESQ100A max. 12 kW |
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1x |
Substratheizer (von oben) |
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1x |
Glimmen |
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4200V, DC, 2,3 A |
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3x |
Thermischer Verdampfer |
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Schiffchen, 8V, 10 kVA, 1200 A |
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1x |
Substratantrieb (Bodenantrieb mit |
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Substrathalter) |
| Vakuumsystem: |
1x |
Vorpumpe |
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Balzers UNO 170, 170 m³/h |
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1x |
Rootspumpe |
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Balzers WKP 2000, 2150 m³/h |
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1x |
Hochvakuumpumpe |
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Diffusion Pump Type DIF 630A (20000 l/s) |
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2x |
Vakuummessröhren |
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Pirani TPR280 (Pfeiffer) |
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1x |
Vakuummessröhren |
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IMR265 (Pfeiffer) |
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1x |
Flow Controller |
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Bronkhorst 200 mln/min |
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1x |
Wasserverteilung mit Ventilen & Flusswächter |
| Steuerung: |
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LayOp® |
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Verfügbare Sprachen: Deutsch oder Englisch |
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Servicetelefon |
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 0049 (0)6181-990536 |
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