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| Kurzspezifikation: A 1100 Z 3 H/4 |
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Glas- Sputteranlage |
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| Anlage: |
1x |
Einlasskammer |
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1x |
Transferkammer |
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1x |
Sputtereinrichtung mit 12 Sputterstationen |
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4x |
Schleusenventile |
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4x |
Transportsysteme |
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2x |
Trockenstation |
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1x |
Glaswaschanlage |
| Pumpstand: |
3x |
Vorpumpe S 630 F |
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Saugvermögen 630 m3 / h |
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1x |
Vorpumpe S 30 A |
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Saugvermögen 30 m3 / h |
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3x |
Rootspumpe WAU 2000 |
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2x |
Rootspumpe RA 5001 |
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20x |
Turbopumpe TMP 1000 C |
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2x |
Polycold PCT 500 |
| Quellen: |
2x |
Sputterkathoden mit Powersupply |
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SSV 60 (60 kW) |
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2x |
Sputterkathoden mit Powersupply |
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30 (30 kW) 1 |
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1x |
HF- Sonde (5kW) f=13,56 MHz |
| Komponenten: |
1x |
Optisches Messsystem "OPTOLEX" |
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Servicetelefon |
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 0049 (0)6181-990536 |
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