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| Kurzspezifikation: BA-1400 |
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Sputteranlage |
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| Hardware: |
1x |
Vakuumkammer (zylindrisch, vertikal) |
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2x |
Sputterkathoden |
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10 kW DC |
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1x |
Sputterkathoden |
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20 kW DC |
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1x |
Substratheizer (vertikal) |
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1x |
Glimmen |
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4500V, max. 400 mA |
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1x |
Thermischer Verdampfer |
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Schiffchen, 6V, 6 kVA |
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1x |
Substratantrieb (Bodenantrieb mit |
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Substrathalter) |
| Vakuumsystem: |
1x |
Vorpumpe |
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Leybold Drehschieberpumpe SV 300 |
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1x |
Rootspumpe |
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Balzers WKP 2000 |
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1x |
Hochvakuumpumpe |
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Balzers Cryo Pumpe RKP 630/800 |
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2x |
Messröhren |
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Pirani TTR90 (Leybold) |
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1x |
Messröhren |
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IMR265 (Pfeiffer) |
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1x |
Flow Controller |
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Bronkhorst 200 mln/min, 500 mln/min |
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1x |
Wasserverteilung mit Ventilen & Flusswächter |
| Steuerung: |
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LayOp® |
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Verfügbare Sprachen: Deutsch oder Englisch |
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Servicetelefon |
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 0049 (0)6181-990536 |
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